我们正在加紧研制基于极紫外(EUV)光源的新型光刻机,型号定为NXE系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高集成电路质量。” 谈小天眼睛一亮,“这么说如果新型光刻机一旦量产成功,那你说的Twinscan NXT1950i我们是不是就可以买了。” 安德鲁迟疑了一下,随后点了点头,“理论上是这样的,禁运条约里只说了最新型的光刻机是禁