产线需要的光刻设备并不算多，以月产能3万片的28n生产线为例，大概需要14台光刻机。

14台光刻机看着数量很大，但其实是高低搭配，最先进的28n光刻机只需要两到三台就已经足够了。除了最下面的晶体管层需要最先进的光刻机之外，上面做铜互连无需最先进的光刻机，

反而是其他设备需要的数量很大，比如像沉积设备、刻蚀设备、热处理设备等。一条生产线每增加1万片的产能，大约需要增加50到60台