尽管有不少董事在心里都不太赞同这个项目，但马主任和范东林显然把工作做到了前头，最终所有人都投了赞成票。

浦东微电子设备公司的euv光刻机研发项目，随即启动。

这个项目的协调工作组也紧跟着开始运行，冯处长充当了各有关部门之间的联络员，同时又充当了和各科研院所之间的协调者。

这一次，方方面面都下了很大的决心，哪怕是穷十年之功，也要突破euv光刻技术。

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