,去年十月份左右,就成功推出了加马射线光刻机,可以实现4纳米级别的超小晶体管结构加工。 加马射线的波长非常短,加上高能射线的一些独特特性,直接突破了深紫外线光刻机需要一大堆高精度镜片的坑爹设计。 现在加马射线光刻机可以通过掩模铅板,在单晶硅片上凋刻出指定的纹路。 所谓一力降十会,就是这样的道理。 通过庞大的人力物力,加上各种配套技术的日渐成熟,光刻机也可以硬