100nm的机床可以手打出来，然后用100nm的机床精确切割出零件，从中挑出一些精度极高的组成一个新的机床，这个新的机床就差不多能更新到80nm的水平了。

一代又一代，持续个十几二十代，10nm的水平自然就有了。

至于往后，难度就更高了，但原理几乎相同，需要的是几十上百次的更新迭代才行。

而要做到这些，钱自然是少不了的。