了。97年,英特尔牵头,目的是突破越来越逼近极限的摩尔定律。 由米国政府、企业建立了芯片业最为顶级的EUV LLC前沿技术组织,研究、推动EUV这项技术的发展。 其中包含了米国官方、三大国家实验室,甚至是军方技术的支持。 当然,还有后世人尽皆知的阿斯麦公司。 可以这么说,后世大家都说阿斯麦怎么怎么牛叉,制造出了世界最尖端科技的EUV光刻机。 其实,