21世纪,是电子信息世纪,而电子信息的发展,全靠IC芯片的发展。 而IC芯片,便是把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片上,这些东西做得越小,就能排布得越多,运算的速度也就越快。 因此,IC芯片的发展,实质便是集成电路不断微型化的发展。 而所谓的光刻机,便是制造电脑芯片的关键机器,以各种波长的