标,想必大家已经有所了解了。” 李伟光、赵军等人当然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1X射线光刻机的技术指标,他们半路上已经研究过。 “高总,贵方的光刻机精度真的可以达到10~7纳米?”李伟光急促的问道。 “我知道大家非常怀疑,一旁有八寸硅片,中芯国际应该有带技术员过来吧?” 李伟光点了点头。 高致远指着一侧的库房继续说道: