L推出的，2010年又造出了第一台研发用样机NXE3100，这一年也是罗晟发起国产EUV光刻机研发的元年，从这一年开始死磕这个技术痛点。

而今年，根据外媒消息的报道，ASML在今年也即是2015年也终于造出了可量产的样机，在这个研发过程中，英特尔、三星、抬积电这些半导体大厂的输血绝对不少的。

但是，国产EUV光刻机的研发，在输血这个问题上，几乎就是靠罗晟一人供养着，仅凭