离开了这里，罗晟和几个技术负责人来到了隔间的一间会议室再做讨论。

一位友商伙伴的技术代表负责人发言道：“获取波长13.5纳米的光是实现EUV光刻的一个重要步骤，激光等离子体极紫外光源由于其功率可拓展的特性，成为了极紫外光刻最被看好的高功率光源解决方案。”

“但时间表延后有两大原因，一是所需要的光源功率暂时还无法达到250瓦的工作功率需求，二是光学透镜、反射镜系统