第594章【紫星光刻,准备曝光它吧】(3 / 22)

刻胶用于极紫外光刻技术上,但因为光源能量大幅度增加了,之前的实操结果显示会出现不同且复杂的结果,进而影响芯片的良品率。”

罗晟点点头,说道:“到了EUV技术节点,这个不单单是我们的问题,竞争者也一样会遇到类似问题,还是得开拓新思路,想来当前业界其它的半导体设备、材料商都会想尽各种方式,或者提出新的光刻胶技术解决方案,让极紫外光刻技术可以持续使用,从而延续摩尔定律的寿命。”