可见光做为照射光源。到了1990年代，芯片制造商则开始使用热汞气所产生较短波长的不可见紫外线做为照射光源，这种光源波长可使芯片的电路线宽缩小到0.35微米。

而cymer公司是世界领先的准分子激光源提供商，早期发明了只有0.25微米波长的eimer雷射光。后期，更是发明了半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外（duv）光源！！！

没有好的光源，就没有好的光刻机！