第467章 卢比扬卡的进展(4 / 19)

虽然现在全向可调的掩模台并没有在工作台的基础上搞好,但是在第一代工艺里,高振东并不准备把掩模台搞成全向可调的,能调个高低倾斜就够了,说得难听点就是用螺丝都能调,和搞成了也没区别,就是个架掩模的架子而已。

掩模台、光学系统都是半固定的,这样一来,就将光刻机的难度降到了最低,但是却不影响其可用性。

安排好这个事情,等到下班回家,高振东将自己要出差的事情告诉