良好的透光性。就这一个特性,这个东西的意义就从光刻机光学系统的配套材料,摇身一变,一跃成为未来紫外光学系统的重要材料了。
而且通过调整里面掺杂的元素或者化合物,是能调整光学性能的。而这个东西经过调整后,就算工作特性和现有材料类似,就一个热膨胀系数就已经足够馋人了。
实测0.3ppm/℃的热膨胀系数啊,用在小尺寸光学系统上,那就约等于根本没动的意思。
第474章 最后一块板和工具人(3 / 21)
良好的透光性。就这一个特性,这个东西的意义就从光刻机光学系统的配套材料,摇身一变,一跃成为未来紫外光学系统的重要材料了。
而且通过调整里面掺杂的元素或者化合物,是能调整光学性能的。而这个东西经过调整后,就算工作特性和现有材料类似,就一个热膨胀系数就已经足够馋人了。
实测0.3ppm/℃的热膨胀系数啊,用在小尺寸光学系统上,那就约等于根本没动的意思。