”

“是研发的项目有进展了？”尹东海神情微喜。

“135纳米的极紫外光光源项目全面突破了，同时突破的，还有镜头技术。”

“太好了。”

尹东海差点失态。

135纳米的机极紫外光光源技术和光学透镜，是光刻机最核心的技术之二。这两个技术突破，意味着光刻机制程更进一步，就在眼前。

要不了多久，他们公司就能突破7纳米以内的v光刻机，他们将成为艾斯麦