注入机龙头为米国应用材料和Axcelis公司，两家合计占据全球近90%的市场份额。国内企业中，只有凯世通和中科信具备集成电路离子注入机的研发和生产能力。

薄膜沉积设备，目前全球市场高度垄断，应用材料、东京电子和拉姆研究占据了绝大部分的市场。国内企业有北方华创、沈阳拓荆。

化学机械抛光方面，CMP机台市场被应用材料和东瀛的Ebara高度垄断，两者市占率接近90%。国内市场