刻机市场主要由尼德兰的阿斯麦(ASML)、东瀛尼康和佳能三家把持。国内就是刚刚崛起的神光仪器，以及之前的微电子。

涂胶显影设备方面，全球涂胶显影设备龙头为东瀛的东京电子、迪恩士和德意志的苏斯微。国内有竞争力的公司为沈阳芯源微。

刻蚀设备方面，全球刻蚀设备行业前三名分别为拉姆研究、东京电子、应用材料。国内企业里面有中微公司、北方华创。

离子注入设备，全球离子