了一下工作环境然后把负责人召集过来吩咐道:“要注意极紫外光刻机要把光压到这么短的波长,需要极高的能量,确保供电问题不出纰漏,还有安全问题。” “明白,罗总请放心。” 为了提高产能,将光源功率不断提高来提升曝光的节拍,需要更高的用电需求。 所以,光刻机的极低能源转化率导致了极高的耗电量,只能用极端的耗电来出大力出奇迹。 极紫外光刻机设备除了零部