件昂贵，技术复杂外，极高的耗电能力也是一绝。

首先，要得到这样高功率的极紫外光，需要功耗超强大的激光器。

这样的激光器在工作时会产生很大的热量，这就需要配上一套卓越的散热冷却系统才能确保设备正常运作，而这又需要消耗大量的电力。

其次，在修正光的前进方向时，每一次反射仍然会损失三层左右的能量，经过十几面反射镜，将光从光源一路导到晶圆，最后大概只能剩下不到2%